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热门关键词: 化学气相沉积系统

1200度实验用小型PECVD系统:等离子体增强化学气相沉积系统

什么是PECVD系统?

PECVD系统由管式炉,石英真空管、真空系统、供气系统、射频电源系统等组成。 PECVD 系统主要应用于金属薄膜,陶瓷薄膜等,复合薄膜,石墨烯等生长。 洛阳西格马可生产1200度实验用小型PECVD、1200度实验用双温区管式炉小型PECVD、低真空CVD系统、等离子增强化学气相沉积系统。

PECVD系统与CVD有什么区别?

气相沉积法化学气相沉积(CVD)是半导体工业中应用*为广泛的用来沉积多种材 料的技术, 包括大范 围的绝缘材料,大多数金属材料和金属合金材料。

CVD 技术常常通过反应类型或者压力来分类,包括低压 CVD(LPCVD),常压 CVD(APCVD),亚常压 CVD(SACVD),超高真空 CVD(UHCVD),等离子体增强 CVD(PECVD),高密度等离子体 CVD(HDPCVD) 以及快热 CVD(RTCVD)。
PECVD:是借助微波或射频等使含有薄膜成分原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。为了使化学反应能在较低的温度下进行,利用了等离子体的活性来促进反应,因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积(PECVD).
 
PVD和热锚点CVD相比,PECVD可以在相对较低的温度(小于350℃)下沉积出高均匀性薄膜。此外,对于SiO2, SiNx, a-Si, SiON 和 DLC等材料的沉积,等离子沉积技术提供了优秀的薄膜性能控制(折射率、硬度等)。
 

1200度实验用小型PECVD系统用途

1200度实验用小型PECVD系统是借助射频使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。

1200度实验用小型PECVD系统系统配置;

1、1200度开启式滑动单温区真空管式炉

2、等离子射频电源

3、多路质量流量控制系统

4、真空系统(单独购买)

1200度实验用小型PECVD系统特性:

可实现手动滑动或自动滑动、气路数量2-5可选择;温度范围宽;溅射区域长;整管可调;精致小巧,性价比高,可实现快速升降温,是实验室生长薄膜石墨烯,陶瓷薄膜,金属薄膜,复合薄膜等的不错的选择,也可作为扩展等离子清洗刻蚀使用。

1200度实验用小型PECVD系统主要参数:

系统名称

SGM 集成型PECVD系统

平安彩票 SGM 1200℃小型PECVD系统

系统型号

SGM PECVD-12IH-500A

SGM PECVD-12IH-4Z/G

控制方式

液晶屏微PLC控制系统

手动

额定温度

1200℃(可选1300℃、1400℃、1700℃等

加热区长度

200mm(可按需定制)

恒温区长度

100mm(可按需定制

温区

单温区(可生产双温区、三温区)


炉管材质
 
石英管

石英管管径

Φ60mm

Φ50mm

额定功率

1.2Kw

平安彩票 2Kw

额定电压

220V

滑动方式及距离

平安彩票 自动滑动;200mm

手动滑动;200mm

温度控制

30段程序控温

50段程序控温

控制精度

±1℃

平安彩票 炉管工作温度

<1200℃

气路法兰

采用多环密封技术卡箍快速连接

平安彩票 排风冷却装置

平安彩票 先进的空气隔热技术,结合热感应技术,当炉体表面温升到50℃时,

排温风扇将自动启动,使炉体表面快速降温。

气体控制方式

平安彩票 质量流量计(按键式)

气路数量

2路(2-4路)

4路(可根据具体需要选配气路数量)

流量范围

0-500sccm(标准毫升/分,可选配)氮气标定

精度

±1%F.S

响应时间

1sec

工作温度
(流量计)

20-120℃

工作压力

进气压力0.05-0.3Mpa(表压力)

进气方式

采用防倒流设计

规格

中真空(集成型请单独购买)

系统真空范围

10Pa-100Pa

真空泵

双级机械泵理论极限真空度3x10-1Pa,抽气速率4L/S(选配:其他抽速真空泵),出气口配有油污过滤器,额定电压220V,功率0.55Kw

信号频率

13.56MHz±0.005%

功率输出范围

0W-500W

0W-100W

反射功率

平安彩票 350W

30W

射频输出接口

50Ω,N-type,temale

功率稳定度

±0。1%

谐波分量

≤-50dbc

供电电压

单相交流(187V-253V)频率50/60HZ

整机功率

≥70%

屏幕显示

正方向功率,匹配器电容位置,偏置电压值

炉体外形尺寸
(仅参考)

290×360×350mm

290×350×490mm

系统外形尺寸
(仅参考)

420×1440×1100mm

530×2310×750mm

平安彩票 系统总重量

大约276Kg


 

 

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